壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成,按不同測試壓力類型,壓力傳感器可以分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。若根據結構與原理不同來劃分,可分為:壓阻式、壓電式、電容式、應變式、振頻式、光電式、超聲式壓力傳感器等。下面分別介紹幾個不同的壓力傳感器及其工作原理。
壓阻式壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器,單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發生變化,通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號輸出。電阻應變片是壓阻式應變傳感器主要組成部分之一,金屬電阻應變片得工作原理是吸附在基體材料上,應變電阻隨機械形變而產生阻值變化的現象,俗稱電阻應變效應。
壓電式壓力傳感器
壓電式壓力傳感器主要是基于壓電效應, 利用電氣元件和其它機械把待測的壓力轉換為電量,再進行相關測量工作的測量精密儀器。要注意的是,壓電式壓力傳感器不可以用在靜態的壓力測量當中,這是因為受到外力作用后的電荷,只有再回路具有無限大的輸入阻抗時才能得到保存。而壓電式壓力傳感器無法實現,只能夠測量動態的壓力。