影響三維力傳感器鞏固性的因素包括傳感器的布局、彈性元件的金屬材質、機加工及熱處分工藝,具體如下:
1、三維力傳感器的布局
三維力傳感器的彈性元件、外殼、膜片、上壓頭和下壓墊的計劃要包管布局在加載后沒有機能顛簸,大概機能顛簸非常小。所以,在計劃三維力傳感器時,要包管應變區受力單純,應力盡可能勻稱。貼片片面應平整;布局具有必然的抗偏載和側向載荷才氣;安裝力應遠離應變區,測量時應以免受力點挪動。三維力傳感器固然是組裝產品,但為了包管良好的技術機能和永遠鞏固性,應盡可能計劃成整體布局。
2、彈性元件的金屬材質
彈性元件的金屬質料對三維力傳感器的概括機能和永遠鞏固性起著環節好處。應選定強度高、彈性有限、彈性模量的時間和溫度鞏固性好、彈性滯后小、機加工和熱處分產生的殘存應力低的質料。有質料評釋,只要淬火質料的塑性好,機加工和熱處分后的殘存應力非常小。還應特別留意彈性模量隨時間的鞏固性,要求在三維力傳感器的應用壽命內質料的彈性模量不發生變更。
3、機加工及熱處分工藝
三維力傳感器的彈性元件在加工歷程當中,由于表面變形不勻稱,產生較大的殘存應力。切削量越大,殘存應力越大,磨削歷程產生的殘存應力越大。所以,應訂定合理的加工工藝和得當的切削量。彈性元件在熱處分歷程當中,由于金屬質料的冷卻溫度不勻稱和相變,在芯部和表層產生差別方向的殘存應力。焦點是拉應力,而表層是壓應力。三維力傳感器應該采用回火工藝,產生反方向的內應力,從而消除殘存應力,削減殘存應力的影響。
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