壓力傳感器分為電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、光纖壓力傳感器,具體介紹如下:
1、電阻應變片壓力傳感器
電阻應變式壓力傳感器廣泛應用于各種工業自控環境,是工業實踐中最為常用的一種傳感器。將電阻應變片粘貼在彈性元件特定表面上,當力、扭矩、速度、加速度及流量等物理量作用于彈性元件時,會導致元件應力和應變的變化,進而引起電阻應變片電阻的變化。電阻的變化經電路處理后的以電信號的方式輸出,這就是電阻應變式傳感器的工作原理。
2、半導體應變片壓力傳感器
半導體應變片壓力傳感器在早期是將半導體應變片粘貼在彈性元件上,制成各種應力和應變的測量儀器。隨著半導體集成電路技術的發展,出現了由擴散電阻作為壓阻元件的半導體壓力傳感器。
3、壓阻式壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
4、電感式壓力傳感器
電感式壓力傳感器也稱變磁阻式壓力傳感器,它是在壓力作用下使銜鐵位移,使線圈的電感發生變化而工作的。根據其結構形式的不同,可以分為變閉隙式和螺管式兩種。
5、電容式壓力傳感器
電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器。它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極,當薄膜感受壓力而變形時,薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化,通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器,可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器。
6、光纖壓力傳感器
利用光在光纖材料中的傳播特性與作用在光彈性元件上壓力的關系制成的壓力傳感器。光線壓力傳感器作為一種新型的傳感器,與傳統的壓力傳感器相比體積小、重量輕、具有電絕緣性、不受電磁干擾、可用于易燃易爆的環境中等優點。另外,還可以構成光纖分布式壓力傳感器,對橋梁、大壩等進行健康狀況的實時監測。
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